1.波谱仪波谱分析是电子探针显微分析的传统方法,在许多方面可与能谱分析两者相互补充,其原理基于X射线在晶体内部发生衍射的布拉格定律(Bragglaw):式中,晶面间距d已知;θ为X射线与晶面的夹角;λ为X射线波长;n为整数。当样品产生的...[继续阅读]

    图2-1　电子散射示意图(a)弹性散射,碰撞后的瞬间能量Ei＝Eo;(b)非弹性散射,瞬间能量Ei≪Eo,φi≪φe。在扫描电镜镜筒中,电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速,入射到样品中,束电子与样品原子核或核外电子发生多种相互作用,而被...[继续阅读]

    目前市场上提供的商品扫描电镜分为两类:场发射扫描电镜(FEGSEM)和常规扫描电镜(ConventionalSEM,简称CSEM),两类电镜的主要性能指标对照如表3-5所示。表3-5　场发射与常规扫描电镜主要性能指标对照表1.场发射扫描电镜场发射扫描电镜属...[继续阅读]

    电子束的最终束斑尺寸dp直接影响图像分辨率。人们总希望电子光学系统可以提供最小的束斑dmin,又可获得最大的束流imax,这就必须建立imax～dmin之间的关系。最终束斑直径dp从公式(5.2)导出:将各直径分别代入上式:前两项为衍射和球差...[继续阅读]

    电镜安装调试好后,进入验收阶段。这期间要完成三件事情:电镜性能和技术指标测试;人员现场培训;技术资料整合。1.性能和技术指标测试通常厂方提供测试空白报告,明确规定了检测项目、指标和检测方法,可以从易到难逐项检测。有...[继续阅读]

    当收看某个远方电视台节目时,荧光屏上会出现很多雪花状噪声,重叠在图像上,亮度起伏不定,从而掩盖了图像细节,常言道“信号太弱”,就是这种随机噪声限制了信息量。扫描电镜成像同样存在这个问题,解决的方法是设法提高信噪比...[继续阅读]

    扫描电镜通常使用10kV～30kV加速电压工作,可获得优质图像;微区成分分析也能提供可靠的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品,例如:半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等...[继续阅读]

    在扫描电镜中,一幅高质量的图像应该满足三个条件:首先是分辨率高,显微结构清晰可辨;第二是衬度适中,图像中无论在黑区还是在白区中的细节都能看清楚;第三是信噪比好,没有明显的雪花状噪声。三者之间有着必然的内在联系,其中...[继续阅读]

    表面形貌衬度是指利用对样品表面形貌特别敏感的信号成像而得到的衬度。二次电子和背散射电子均可以提供形貌衬度,这是扫描电镜中最常用的图像衬度。1.二次电子像的形貌衬度二次电子主要来自表面下<10nm的浅层区域,它的强...[继续阅读]

    非导电样品绝缘电阻大,在电子束的连续扫描下,样品表面逐渐积累负电荷,形成相当高的负电场,排斥入射电子,二次电子发射不稳定,并随机偏转二次电子轨迹,影响探测器接收,造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹,这就是...[继续阅读]