
 物理气相沉积(PVD)是利用热蒸发、溅射或辉光放电、弧光放电的物理过程,在基材表面沉积所需涂层的技术。蒸镀、溅射是物理气相沉积的两类基本镀膜技术。以此为基础,衍生出反应镀和离子镀。镀料原子在沉积时,可与其他活性气体 (共 7090 字) [阅读本文] >>
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