CVD金刚石的生长涉及从碳源到金刚石气相转变的特殊化学过程。为了解这一过程,可将其分为几个部分,见图53.1。通常,反应混合气体进入反应室,通过一些激活方法,气相反应产生含碳先驱物,运输到生长表面,反应生成金刚石。目前有许 (共 276 字) [阅读本文] >>
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 CVD金刚石的生长涉及从碳源到金刚石气相转变的特殊化学过程。为了解这一过程,可将其分为几个部分,见图53.1。通常,反应混合气体进入反应室,通过一些激活方法,气相反应产生含碳先驱物,运输到生长表面,反应生成金刚石。目前有许 (共 276 字) [阅读本文] >>
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