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 1)概述[1,25,26]第一代的卷对卷连续沉积实验设备始建于20世纪80年代初。在1982—1983年间,建成了第二代卷对卷连续沉积中试设备。该设备有5个分离室,包括一个装卷室、三个沉积室和一个出卷室。三个沉积室分别沉积p层,i层和n层。各 (共 1868 字) [阅读本文] >>
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 1)概述[1,25,26]第一代的卷对卷连续沉积实验设备始建于20世纪80年代初。在1982—1983年间,建成了第二代卷对卷连续沉积中试设备。该设备有5个分离室,包括一个装卷室、三个沉积室和一个出卷室。三个沉积室分别沉积p层,i层和n层。各 (共 1868 字) [阅读本文] >>
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