从激活区域到基体表面的气体的主要运输模式与反应腔和生长方法有关。热丝或微波反应腔内,低气体流量情况下气体运输主要由扩散控制;在喷射和火炬反应腔内,气体运输由对流控制。这两种控制方式都限制了生长表面周围原子氢 (共 299 字) [阅读本文] >>
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 从激活区域到基体表面的气体的主要运输模式与反应腔和生长方法有关。热丝或微波反应腔内,低气体流量情况下气体运输主要由扩散控制;在喷射和火炬反应腔内,气体运输由对流控制。这两种控制方式都限制了生长表面周围原子氢 (共 299 字) [阅读本文] >>
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