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1.主要技术参数(1)有效加热区尺寸:∅1500mm×1200mm。(2)最高加热温度:1320℃。(3)炉温均匀性:580～650℃,±8℃;>650℃,±10℃。(4)加热室极限真空度:4.0×10-3Pa。(5)压升率:0.6×10-1Pa/h。(6)抽空时间:至1.33Pa,≤30min;至4×10-3Pa,≤1.5h。(7)升温时 （共 1209 字） [阅读本文] >>
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1.主要技术参数(1)有效加热区尺寸:∅1500mm×1200mm。(2)最高加热温度:1320℃。(3)炉温均匀性:580～650℃,±8℃;>650℃,±10℃。(4)加热室极限真空度:4.0×10-3Pa。(5)压升率:0.6×10-1Pa/h。(6)抽空时间:至1.33Pa,≤30min;至4×10-3Pa,≤1.5h。(7)升温时 （共 1209 字） [阅读本文] >>
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