仪器。主要用于检测光学度盘、圆光栅码盘等圆分度元件的分度误差。由中国科学院长春光机所研制成功。该仪器主轴上装有一块高精度大型圆光栅,利用多头平均原理获得精度比单根刻线更高的莫尔条纹光电信号,经过相位调制的电 (本文共 299 字 ) [阅读本文] >>
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 仪器。主要用于检测光学度盘、圆光栅码盘等圆分度元件的分度误差。由中国科学院长春光机所研制成功。该仪器主轴上装有一块高精度大型圆光栅,利用多头平均原理获得精度比单根刻线更高的莫尔条纹光电信号,经过相位调制的电 (本文共 299 字 ) [阅读本文] >>
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