新型真空传输机械手设计研究

摘要： 作为半导体行业的关键元件,晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高。针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命等方面的不足,提出一种新型连杆式真空传输机械手结构,可实现平面内任意直线轨迹规划运动,不仅结构简单,洁净度高,而且有效的提高了刚度及使用寿命。同时,根据真空传输机械手的结构建立其分析模型,推导运动学公式,对机械手驱动臂同步控制运动及电机同步控制精度进行了仿真分析,阐述了插值次数与运动精度之间的联系并优化得到最佳插值次数,为真空机械手机构的优化设计和平稳控制提供了理论基础。 （共3页）