基于光声光谱的气相全氟碳化合物检测技术研究

光电工程页数： 10 2025-09-25

摘要：研究了一种基于光声光谱的高精度气相全氟碳化合物检测技术与系统装置，旨在实现对此类气体物质的高精度实时监测。首先探究全氟碳化合物的中红外波段吸收谱线，基于非谐振式光声光谱原理搭建针对气相氟化物的专用检测系统，研制一体化试验样机，实现小型化、集成化。在实际测试中，针对光源变化引起的浓度测试不稳定和误差问题，创新性地提出一种基于光电探测器反馈控制的光强-声压-浓度校正方法，建立关于光... （共10页）

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