PEN/Al₂O₃柔性阻隔膜的制备及其性能研究

功能材料页数： 6 2025-10-30

摘要：以PEN为柔性基底材料，分别利用热原子层沉积(T-ALD)和等离子体增强原子层沉积(PEALD)制备氧化铝(Al₂O₃)薄膜。通过对比发现，当沉积温度为80℃时，PEALD制备的Al₂O₃薄膜O和Al元素比更接近标准值，薄膜纯度更高；薄膜厚度不均匀性更低，仅为1.43%,说明此条件下利用PEALD技术成膜质量更好。另外，利用PEALD技术分别在80℃、100℃和120℃... （共6页）

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