二维运动台系统辨识与精密驱动控制

摘要： 为了满足精密测量和精密加工领域对定位系统高定位精度的要求，设计了一种基于系统辨识与精密驱动控制的亚微米精度XY二维运动台系统。该系统包括机械结构和控制系统，其中机械部分采用堆叠结构，X轴运动台位于Y轴运动台之上，其运动由直线电机驱动，光栅传感器进行位置测量。为提高运动台精度和稳定能力，提出了一种基于频域法系统辨识的大行程二维运动台系统控制设计方法，通过在伺服系统中输入正弦激励信... （共8页）