热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜热应力分布和电学特性影响的研究

摘要： 为定量表征热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜应变分布和电学特性的影响，建立了基于数字图像相关法的热变形测试工作站和电学测试站的综合测试系统，首先在柔性聚合物上通过磁控溅射方法制备了铜导电层厚度为50、100、200、500 nm的二维马蹄形柔性电子复合薄膜，并对柔性电子复合薄膜在恒速率加热条件下进行原位和全局变形检测和电信号稳定性检测。提取了二维马蹄形互连的热应变场，并重点分... （共8页）