Ga₂O₃/SiC界面导热的格子动力学研究

工程热物理学报页数： 7 2025-10-15

摘要：结合机器学习势函数与格子动力学方法，开发了一套预测界面热导的理论框架，系统地研究了Ga₂O₃/SiC异质结的界面热输运机制。采用声子蒙特卡洛仿真和有限元方法，研究了提高界面热导对降低Ga₂O₃器件结温的影响。结果表明，通过密度泛函理论数据集迭代训练的机器学习势函数达到了0.029 e V/atom的精度，建立了高效计算框架。Ga₂O₃/SiC的理想界面热导为217 ... （共7页）

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Ga2O3/SiC界面导热的格子动力学研究

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