MEMS气体传感器发展现状与对策

传感技术学报页数： 7 2025-09-15

摘要：新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展，利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用，实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能化”的发展路线。从MEMS气体传感器的种类、气敏材料、传感机理及应用等方面描述了其研究现状，并聚焦MEMS气... （共7页）

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