Zr掺杂对Y₂O₃/金刚石薄膜结构与性能的影响

摘要： 元素掺杂可以改变基体材料的结构，从而提高材料的性能。利用磁控溅射法在单晶硅和多晶CVD金刚石上分别制备未掺杂及Zr掺杂Y₂O₃薄膜，研究Zr掺杂氧化钇（Y₂O₃）增透薄膜的组成、结构及性能。掠入射X射线（GI-XRD）测试结果表明，未掺杂的Y₂O₃薄膜呈现立方（222）面柱状晶体取向，随着Zr掺杂功率增加，新的单斜Y₂O₃相（111）晶面取向开始出现。扫描电镜（... （共8页）