光学元件亚表面损伤抑制技术研究进展

兵器材料科学与工程页数： 11 2025-04-28

摘要：随着光学制造和精密加工技术的不断进步，光学元件的表面质量对其性能和使用寿命起着至关重要的作用。亚表面损伤为影响光学元件功能和可靠性的主要因素之一，已成为光学加工中的研究重点。本文综述了硬脆光学材料的磨削机理，分析了亚表面损伤的形成机理及磨削过程中抑制亚表面损伤的相关方法。随后，重点介绍了几种先进的表面加工方法，包括磁流变加工、等离子体刻蚀、激光加工和离子束刻蚀等，探讨了他们在抑... （共11页）

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