铝基碳化硅表面活化与镍磷非晶膜制备

光学精密工程页数： 11 2026-01-10

摘要：铝基碳化硅因其高模量、轻量化特征，成为新一代空间光学反射镜理想材料，但表层氧化铝及多相界面缺陷使其很难达到光学镜面要求。为了满足铝基碳化硅反射镜的光学性能需求，对铝基碳化硅（SiC_p体积分数为20%）表面镍磷非晶膜的制备技术进行优化，采用“清洗-初次浸锌-退锌-二次浸锌-化学镀镍”的工艺路径，重点解决氧化膜去除、界面活化、界面强度提升及镀层厚度控制等核心问题。铝基碳化硅基体表... （共11页）

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