微纳米三坐标测量机的技术进展

光学精密工程页数： 19 2025-12-10

摘要：超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分，其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间，而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量，必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机（Coordinate Measuring Machine, CMM）的研究进展，从整机结构设计、误差补偿技术、纳米测头研制、测量环境控制及整机应用测试等方面进行了系统性... （共19页）

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