宽波段光栅国内外研究综述

光学精密工程页数： 25 2025-12-10

摘要：衍射光栅是光谱仪器中的核心光学元件，与普通光栅相比，宽波段光栅能够在较宽的波段范围内满足光谱分析需求。本文综述了宽波段光栅的国内外研究进展，总结了复杂槽形光栅、分区光栅、中阶梯光栅以及多层介质光栅四类宽波段光栅的特点。其中，复杂槽形光栅的光谱连续性高，衍射效率曲线稳定，但其质量受加工精度影响较大；分区光栅的设计灵活度高，加工工艺成熟，但子区域之间存在相位错配与衍射场差异问题，易... （共25页）

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