基于输入整形的单压电变形镜振动抑制

光学精密工程页数： 8 2025-10-10

摘要：为了抑制单压电变形镜在工作中镜面产生的振动，提出了基于输入整形的单压电变形镜振动抑制方法。通过对单压电变形镜的结构进行分析，搭建单压电变形镜的动力学模型。利用软件仿真分析输入整形器对单压电变形镜阶跃响应曲线中位移超调量和调整时间的影响，再搭建实验平台进行验证。最后，通过对变形镜重构离焦面形的仿真，分析整形技术在变形镜实际控制中的抑振效果。实验结果表明，在5 kHz的控制频率下采... （共8页）

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