跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析

摘要： 为解决三维超精密测量中大行程运动与高精度测量之间的矛盾，研制了一种新型的跨尺度微纳米三坐标测量机（Cross-Scale Micro-Nano Coordinate Measuring Machine, CSMN-CMM），测量体积为100 mm×100 mm×100 mm。不同于传统坐标测量机的结构形式，CSMN-CMM采用独立的、三维方向都符合阿贝原则的计量系统布局，既消除... （共12页）