超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化

光学精密工程页数： 11 2025-09-10

摘要：为实现硫化锌光学元件高质量抛光，开展了机器人超声辅助抛光的理论建模与实验研究，构建了适用于硫化锌材料的高精高效超声辅助抛光理论与工艺体系。首先，建立机器人超声辅助抛光过程中磨粒-工件接触模型，通过运动学分析超声振动作用下磨粒的三维轨迹特征；其次，基于Preston材料去除理论，引入超声振动产生的动态压力分量与相对速度分量，修正材料去除函数，构建考虑高频振动效应的硫化锌材料去除模... （共11页）

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