平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术

光学精密工程页数： 11 2025-07-25

摘要：针对平面光栅刻划机在刻划过程中因压电陶瓷驱动器的迟滞非线性特性引发的微定位精度下降问题，提出一种基于分段Prandtl-Ishlinskii(PI)模型的复合控制误差补偿方法，提升光栅刻划的分度定位精度与稳定性。设计一套光栅分度微定位误差监测及校正系统，通过构建分段PI模型描述其非线性行为，利用最小二乘法辨识压电陶瓷驱动器的迟滞特性，并将逆模型作为前馈补偿环节，结合闭环反馈控制... （共11页）

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