镜片面形误差与法珀标准具性能指标的关系

光学精密工程页数： 12 2025-07-25

摘要：为了对法布里-珀罗标准具镜片加工过程中的面形误差进行确定性控制，本文深入研究镜片面形误差与法珀标准具性能的关系。通过建立面形误差对标准具透射谱影响的理论模型，量化分析面形误差对标准具主要性能指标的影响，进而优化工艺与面形控制参数。研究发现，面形误差的均值与标准具透射谱峰中心波长呈现良好线性关系，理论推导得出中心波长偏移的灵敏度系数为1.65 pm/nm。面形误差的峰谷值影响标准... （共12页）

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