PECVD制备类液纳米涂层及其表面抗结冰性能研究

表面技术页数： 12 2026-01-25

摘要：目的以等离子增强化学气相沉积（PECVD）方法制备类液纳米涂层并研究其在光滑与粗糙表面的疏液性能与抗结冰性能。方法采用PECVD技术，以环状硅氧烷（四甲基环四硅氧烷，TMCTS）和线性硅氧烷（六甲基二硅氧烷，HMDSO）为前驱体，分别制备表面光滑的等离子聚合HMDSO(H)涂层、表面粗糙的等离子聚合TMCTS(T)涂层和复合TMCTS/HMDSO(T/H)涂层。利用傅里叶变... （共12页）

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