前驱体对PECVD制备类金刚石涂层的结构与性能的影响
摘要： 目的 探究不同含氢量的碳氢前驱体对直流脉冲PECVD制备DLC涂层的结构（化学键、sp~3含量）和力学性能（硬度、弹性模量）的影响规律。方法 采用直流脉冲PECVD技术，以乙炔、氢稀释乙炔、甲烷、氢稀释甲烷为前驱体，制备4种类金刚石涂层，即DLC(C
2H
2)、DLC(C
2H
2+H
2)、DLC(CH
4)、DLC(CH
4+H
2)。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱、X射线... （共7页）
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