氮气流量比对三靶高功率脉冲磁控共溅射(TiSiAlCrV)N薄膜结构和性能的影响

摘要： 目的 研究氮气流量比（■）对(TiSiAlCrV)N薄膜化学成分、相组成、沉积速率、微观结构及性能的影响，提高65Mn钢的耐磨和耐蚀性能。方法 使用相位可控三靶高功率脉冲磁控共溅射，在不加热条件下制备(TiSiAlCrV)N高熵合金氮化物薄膜，通过掠入射X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损试验机和电化学工作站分别测试薄膜物相、硬度（H）和弹性模量（E）、耐磨性能、耐蚀性能，并通过... （共12页）