多晶碳化硅纳米磨削机理的分子动力学研究

摘要： 目的 满足多晶碳化硅的高精度加工需求，重点探讨纳米磨削中晶界特性和磨粒结构对材料去除行为、损伤机制的影响。方法 采用分子动力学模拟纳米磨削过程，通过Voronoi法构建具有晶粒尺寸和晶界位置可控的结构化多晶模型，定量分析晶界效应；同时，设置不同磨粒前角进行对比仿真。重点分析纳米磨削过程中的磨削力、磨削温度、应力分布、表面形貌及亚表面损伤。结果 多晶碳化硅的平均磨削力低于单晶碳化... （共12页）