高功率下基片台尺寸对等离子体影响研究

摘要： 目的 在实验室自制的2.45 GHz环形天线多模腔微波等离子体化学气相沉积装置中进行直径100 mm基片台上单晶金刚石的均匀批量生长。方法 通过建立一个二维氢等离子体模型研究了不同尺寸基片台对等离子体环境的影响。采用发射光谱（OES）诊断金刚石生长过程中的等离子体环境，利用红外测温仪测量基片台的温度，采用拉曼光谱表征生长得到金刚石质量。结果 基片台的尺寸增大会导致等离子体向中心... （共10页）