Al/TiN界面本征润湿行为及其微观机制研究

表面技术页数： 11 2025-09-25

摘要：目的揭示非反应Al/TiN体系的界面润湿行为本征特性及其微观机制，阐明温度与界面原子排列对润湿性的协同作用机理。方法基于第一性原理分子动力学（AIMD）方法，构建Al(100)/TiN(100)界面slab模型（5层TiN基底+7层Al，共902个原子），采用CP2K软件包中的QUICKSTEP模块进行动力学模拟。通过正则系综（NVT）在700～1 000 K温度范围内进行... （共11页）

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