高热流密度硅基微通道强化换热结构及其制造技术综述

低温与超导页数： 13 2025-10-24

摘要：随着电子器件集成度的不断提高，高热流密度电子器件的热管理是一个关键且具有挑战性的问题。硅基微通道散热器具有结构紧凑、换热系数高和可嵌入式的特点，是解决高热流密度散热问题最有前景的方向之一。然而，针对高热流密度硅基微通道的最新研究综述仍少有报道，为相关研究人员对研究动态的把握带来诸多不便。鉴于此，本文总结了硅基微通道强化换热结构及其先进制造技术的最新进展，详细介绍了微通道主体强化... （共13页）

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