异质集成在SiC衬底上的大带宽高响应度InGaAs光电探测器

固体电子学研究与进展页数： 5 2025-12-25

摘要：为满足光通信系统对高性能光电探测器日益增长的需求，设计并制备了一种基于异质集成技术的大带宽、高响应度光电探测器。传统正入射型光电探测器普遍面临带宽和响应度相互制约以及散热能力不足的问题。为解决上述问题，本研究提出一种基于异质集成技术的新型探测器结构，通过晶圆键合工艺将高速InGaAs近红外探测器集成于具有高导热率的碳化硅（SiC）衬底上。测试结果表明，所制备的光电探测器在1 5... （共5页）

开通会员，享受整站包年服务

说明：本文档由创作者上传发布，版权归属创作者。若内容存在侵权，请点击申诉举报

科技文档

数学力学化学金融证券保险投资会计审计园艺林业旅游体育物理学生物学天文学气象学海洋学地质学新能源金属学农艺学农作物管理学领导学自然科学系统科学资源科学无机化工有机化工燃料化工化学工业材料科学矿业工程冶金工业安全科学环境科学工业通用机械工业无线电子电信技术铁路运输汽车工业船舶工业动力工程电力工业农业科学农业工程植物保护动物医学教育理论学前教育初等教育中等教育高等教育职业教育成人教育自然地理地球物理经济统计农业经济工业经济交通经济企业经济文化经济信息经济贸易经济财政税收市场研究科学研究互联网自动化轻工业核科学服务业石油然气服务业野生动物水产渔业硬件仪器仪表航空航天武器军事公路运输水利水电建筑科学软件