基于RBF神经网络的薄膜热应力与热变形多目标优化

摘要： 薄膜基底结构凭借其高性能、轻量化等优势，在半导体器件中广泛应用。然而，薄膜基底结构常因薄膜热应力或热变形过大而失效，这严重地影响了器件的可靠性。以Si基/AlN/GaN多层薄膜结构为研究对象，以最小化GaN薄膜热应力与热变形为目标，基于径向基函数（Radial basis function,RBF）神经网络建立代理模型实现对薄膜热应力与热变形的快速精准预测，之后使用非支配排序鲸... （共7页）