RB-SiC多相结构飞秒激光差异化加工研究

航空制造技术页数： 9 2026-02-10

摘要：反应烧结碳化硅（RB-SiC）陶瓷因其优异的热物理性能和近净成形能力，在空间光学与精密制造等领域具有重要应用，但其硬度高、脆性大，且具有多相复合结构（多尺寸SiC晶粒与游离Si），属于典型的难加工材料。针对RB-SiC的特殊结构，本研究提出一种飞秒激光差异化加工方法，通过切换振镜–物镜系统（光斑直径4μm）与振镜–场镜系统（光斑直径28μm），分别实现RB-SiC的差异化微织构... （共9页）

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