基于探针参数估计与多尺度特征融合的AFM图像重建方法

红外与激光工程页数： 13 2026-01-25

摘要：原子力显微镜扫描过程中，探针针尖结构与原始表面耦合时容易产生形态学失真，导致AFM图像测量精度低。提出了一种探针参数估计与多尺度特征融合的AFM图像重建方法，采用基于深度学习网络的编码器-解码器架构实现探针参数估计与条件图像重建。通过大量的数据集仿真，验证文中方法对探针参数的有效估计，同时经过具有高深宽比结构的微纳米样板AFM图像重建质量比对，文中方法的MSE、PSNR、SSI... （共13页）

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