太赫兹时域光谱与深度学习结合的热生长氧化层厚度检测

激光与光电子学进展页数： 8 2025-09-10

摘要：针对热生长氧化物（TGO）厚度无损检测难度大、精度低的问题，提出了一种结合太赫兹时域光谱和深度学习模型的检测方法。通过建立热障涂层的仿真模型，获取仿真和实物样件的太赫兹时域光谱数据，并优化深度学习模型以提高TGO厚度检测的精度。在处理仿真数据时，模型的平均决定系数为0.934，而在处理实物样件数据时，平均决定系数为0.857，显示出高拟合程度。对于在3～10μm范围内的TGO厚... （共8页）

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