原子力显微镜减振平台

机械设计与研究页数： 7 2025-10-20

摘要：原子力显微镜具有纳米尺度高分辨率，因而，在纳米领域检测中发挥着无可替代的作用。然而，原子力显微镜测头与其系统相集成引起的机械振动噪声，影响了原子力显微镜的成像与检测精度，限制了其在半导体领域的应用。针对该问题，文中提出了柔性铰链减振平台，旨在提升原子力显微镜半导体成像与检测精度。通过开展柔性铰链结构建模研究，发现了柔性铰链的隔振性能与其弹性系数负相关。运用有限元仿真方法，研究了... （共7页）

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