沉积时间对化学气相沉积石墨烯薄膜摩擦学性能的影响

润滑与密封页数： 10 2025-10-15

摘要：为提高石墨烯薄膜与基底的结合强度，通过铜催化辅助化学气相沉积法(CVD)在不同的沉积时间下直接在硅基材表面制备4种石墨烯薄膜，通过往复式摩擦磨损试验机探究沉积时间对石墨烯薄膜摩擦学行为的影响。结果表明：制备的石墨烯薄膜均能一定程度提升摩擦学性能；随着沉积时间的延长，石墨烯薄膜的缺陷呈现下降趋势，石墨烯薄膜与基底的结合力呈现先上升后下降的趋势；纯硅片的磨损率为9.74×10~(-... （共10页）

开通会员，享受整站包年服务

说明：本文档由创作者上传发布，版权归属创作者。若内容存在侵权，请点击申诉举报

科技文档

数学力学化学金融证券保险投资会计审计园艺林业旅游体育物理学生物学天文学气象学海洋学地质学新能源金属学农艺学农作物管理学领导学自然科学系统科学资源科学无机化工有机化工燃料化工化学工业材料科学矿业工程冶金工业安全科学环境科学工业通用机械工业无线电子电信技术铁路运输汽车工业船舶工业动力工程电力工业农业科学农业工程植物保护动物医学教育理论学前教育初等教育中等教育高等教育职业教育成人教育自然地理地球物理经济统计农业经济工业经济交通经济企业经济文化经济信息经济贸易经济财政税收市场研究科学研究互联网自动化轻工业核科学服务业石油然气服务业野生动物水产渔业硬件仪器仪表航空航天武器军事公路运输水利水电建筑科学软件