四质量块MEMS陀螺仪正交误差整体校正研究

摘要： 微机械电子系统陀螺仪在加工制造过程中由于工艺缺陷造成陀螺弹性主轴发生偏斜，从而产生正交误差。为了减小正交误差对陀螺仪性能的影响，对四质量块微机械陀螺仪正交误差校正方法进行了研究。首先，对正交误差产生的原因及其对输出的影响进行了分析；其次，对两种正交刚度校正结构进行了分析，并以此为基础，提出了一种四质量块陀螺仪正交误差的整体校正法；最后，对正交误差校正前后的陀螺仪性能进行实验测试... （共6页）