双动镜平动式与双动臂旋转式干涉仪动态性能对比

应用光学页数： 8 2025-09-15

摘要：双动镜平动式和双动臂旋转式干涉仪虽能较好地降低动镜倾斜的影响，但现有研究未能明确两者的差异特征，导致在高精度场景中常因性能误判而选型错误。该文通过构型对比揭示了两类干涉仪差异，设计了功能和尺寸近似的两类干涉仪，其中，平动式干涉仪尺寸为443.546 mm×243.773 mm，旋转式干涉仪的尺寸为387.546 mm×300 mm。模拟了动镜倾斜情况下的干涉范围，其中，平动式干... （共8页）

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