基于粒子群-梯度下降混合优化的物镜偏振像差测量研究

仪器仪表学报页数： 8 2025-08-21

摘要：受到镀膜及材料双折射、内部应力的影响，高数值孔径光学系统不可避免存在一定的偏振像差，使得系统的成像质量与入射光偏振态相关。现有偏振像差测量技术一般装置较为复杂，测量不便，效率较低。针对此问题，提出了使用往返式光路进行测量，利用偏振分辨波前测量技术从聚焦光场的强度分布反演显微物镜的Jones矩阵，降低系统复杂度。首先，基于光线追迹及标量衍射理论建立了数值计算模型，模拟聚焦光场不同... （共8页）

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