大行程快刀伺服系统设计与控制技术研究

制造技术与机床页数： 7 2025-11-18

摘要：面向超精密的光学自由曲面或表面微结构的制造问题，文章研制了一种大行程快速刀具伺服系统。该系统的设计采用音圈电机（voice coil motor, VCM）作为驱动元件，以气浮导轨进行支撑与导向，并通过有限元分析的方法对动子静力学特性和模态进行了仿真分析。根据系统所需性能指标搭建了伺服系统，通过频响测试并基于最小二乘法建立了被控对象的数学模型。随后结合数学模型对控制系统进行建模... （共7页）

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