敏感元件粘接变形特性与石英加速度计性能变化

中国惯性技术学报页数： 9 2026-01-27

摘要：敏感元件作为石英加速度计的核心器件，其结构微变形直接影响加速度计的性能。常用粘接工艺会改变敏感元件的几何形状和尺寸，进而影响加速度计性能。为此，基于石英加速度计基本原理和力学模型，仿真分析了温域下敏感元件面形变化对加速度计性能的影响。利用激光干涉仪实现了时域下敏感元件面形定量高精度测量，分析了敏感元件面形变化与加速度计性能变化的关系。对样品加速度计进行全温实验和老化实验，证明敏... （共9页）

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