MEMS加速度计系统动态特性分析与评估方法

中国惯性技术学报页数： 10 2025-09-30

摘要：带宽特性是衡量微机电系统（MEMS）电容式加速度计动态性能的重要指标。通过分析MEMS电容式加速度计环路各个模块的电学逻辑关系，推导了加速度计环路控制系统和接口电路传递函数，结合Simulink仿真开展了加速度计环路及接口电路幅相特性系统分析。提出了以模拟线振动平台为依托完整表征加速度计系统动态特性的方案，将加速度计数字信号输出经由数模转换器转为模拟电信号激振线振动平台，构建了... （共10页）

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