流量传感器用高精度差压芯体的设计

传感器与微系统页数： 4 2025-11-10

摘要：通过优化差压流量传感器芯体敏感结构及封装设计，解决现有压力、流量测量在精度、稳定性和适应性上的不足。差压式气体流量传感器利用伯努利原理，设计了一种双平衡扭转梁+T型梁结构谐振式差压敏感芯体，相比于传统单梁结构，通过调整结构参数使Q值从15 084提高到37 124以上，有效保证了高性能。并通过硼硅玻璃实现应力隔离，在125℃情况下敏感膜上产生的热应力降至3.375 MPa。对敏... （共4页）

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