低热导率玻璃基MEMS热式流速传感器制备与研究

传感器与微系统页数： 5 2025-11-10

摘要：面向气体的低流速测量，在低热导率玻璃基底上采用剥离工艺制备蛇形铂(Pt)薄膜作为热敏电阻，构成了热分布型微机电系统(MEMS)流速传感器。传感器尺寸为10 mm×10 mm,在室温条件下，传感器加热电阻为247Ω,测温电阻为419.7Ω。测温电阻具有良好的温度—阻值线性度(R~2≥0.999)。通过改变加热电阻与测温电阻之间的间距，可实现0～1.0 m/s的测量范围，其中，在0... （共5页）

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