硫化氢MOS气体传感器研究进展

化学工业与工程页数： 10 2026-01-15

摘要：硫化氢(H₂S)是一种无色、剧毒的有害气体，研发高响应值的H₂S传感器，以便准确、及时地监测环境中H₂S浓度，对于维护人类健康和确保生产安全至关重要。金属氧化物半导体(MOS)基H₂S气体传感器具有高响应值、快速响应、强选择性、高稳定性等优势，被广泛应用于H₂S气体传感领域。详细介绍了MOS基气体传感器的气敏机理，结合国内外研究进展，综述了n型、p型、n-n型、p-p... （共10页）

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