光学非球面面形检测与误差建模补偿

计量学报页数： 7 2025-09-22

摘要：建立了基于三坐标测量机（CMM）的接触式非球面透镜面形检测系统，对光轴方向与顶点确定、测球误差的模型建立与补偿等进行研究。采用微纳米CMM搭配三维谐振测头实现对非球面透镜的面形检测，为解决检测过程中光轴方向与顶点位置难以准确确定的问题，采用LM算法对光轴方向与顶点位置进行校正；其次，针对接触式检测中的测球球径的影响问题，建立误差修正模型以补偿检测过程中的测球误差。并通过实际检测... （共7页）

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