一种可直接溯源的台阶仪校准方法研究

计量学报页数： 7 2025-09-28

摘要：现有台阶仪校准方法为先用微纳米台阶高度标准样板测量示值误差，再用计量型扫描探针显微镜校准微纳米台阶高度标准样板。这一溯源链有标准样板和扫描探针显微镜2个环节，校准过程较为复杂。针对这一问题，研究了一种可直接溯源的台阶仪校准方法。校准平台通过压电陶瓷产生位移，带动台阶仪探针的运动，并通过内嵌激光干涉仪的方法实时测量位移量，达到将台阶仪探针位移结果直接溯源到激光波长的目的，解决现有... （共7页）

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