基于哈特曼波前探测的显微物镜像差检测方法研究

摘要： 显微物镜的光学性能决定显微成像质量，这对波前像差检测具有重要意义。因此，提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差，实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析，结果表明，该方法测量的显微物镜像差与实际像差近似相等，验证了该方法的有效性。搭建实验装置并对显微物镜进行像差检测，结果表明，物镜的均方根值(RMS)检测精度≤10 nm，重复... （共11页）